超純水系統
盛美半導體
我公司于10年、16年分別為盛美半導體提供超純水處理系統及廢水處理系統,一直穩定運行至今,超純水系統出水達到ASTM D5127 超純水E-1 的要求,電阻率18.2MΩ.cm 0.1微米顆粒數小于1個/ml, TOC小于1ppb, 溶解氧小于1ppb ,系統配置日本旭化成終端超濾膜及瑞士GF公司PVDF超純管路系統。
天津華海清科半導體
科域公司于18年為天津華海清科半導體提供超純水處理系統,超純水系統出水電阻率18.2MΩ.cm,0.1微米顆粒數小于1個/ml, TOC小于5ppb, 溶解氧小于5ppb。系統配置日本旭化成終端超濾膜及瑞士GF公司PVDF超純管路系統。